政策赋能我国特种气体行业国产替代化进程加快（附政策汇总）

2021-03-04 07:16

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特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着国防工业、科学研究、自动化技术、微电子技术的发展而发展起来的。特种气体作为关键性材料，在集成电路、显示面板、光伏能源和光纤光缆等新兴领域发挥重要作用。

近年来，我国特气行业得到国家政策大力支持，发改委、工信部等多部门相继出台多项政策来推动产业发展，例如《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》《新材料产业指南》等指导性文件。

2009-2020年我国特种气体行业相关政策梳理汇总

时间	单位	文件名	内容
2009	科技部	《国家火炬计划优先发展技术领域〉〉	将“专用气体”列入优先发展的“新材料及应用领域”中的电子信息材料。
2012	科技部	《国家火炬计划优先发展技术领域〉〉	将起高纯度氨气等外延材料、高纯电子气体和试剂等列入重点发展任务。
2012	科技部	《新型显示科技发展“十二五”专顶规划〉〉	提出开发高纯特种气体材料等，提高有机发光显示产品上游配套材料国产化率。
2013	国家发改委	《产业结构调整指导目录（2011年版）》（2013年修订）	将电子气等新型精细化学品的开发与生产列入“第一类鼓励类”产业。
2016	科技部	国家重点支持的高新技术领域目录》（2016）	在“四、新材料”之“（五）精细和专用化学品”之“2、电子化学品制备及应用技术”中明确指出“包括特种（电子）气体的制备及应用技术”。
2016	国务院	《“十三五”国家战略新兴产业发展规划〉〉	提出优化新材料产业化及应用环境，提高新材料应用水平，推进新材料融入高端制造供应链，到2020年力争使若干新材料品种进入全球供应链，重大关键材料自给率达到70%以上。
2017	国家发改委	《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》（2016)	在“1. 3. 5关键电子材料”中包括“起高纯度气体等外延材料”。
2017	工信部、国家发改委、科技部、财政部	《新材料产业发展指南》	在重点任务中提出“加快高纯特种电子气体研发及产业化，解决极大规模集成电路材料制约”
2017	工信部	《重点新材料首批次应用示范指导目录(2017年版）》	在“先进基础材料”之“三、先进化工材料”之“(四）电子化工新材料”之“20特种气体”中将特种气体明确列示，主要应用于集成电路，新型显示。
2018	国家统计局	《战略性新兴产业分类（2018）	在“1. 2. 4集成电路制造”的重点产品和服务中包括了“起高纯度气体外延用原料”，在“3. 3. 6专用化学品及材料制造”中重点产品和服务中包括了“电子大宗气体，电子特种气体”
2019	国家发改委	《产业结构调整指导目录》（2019年本）	起净高纯试剂、光刻胶、电子气、高性能液晶材料等新型精细化学品的开发和生产属于鼓励类。
2020	国务院	《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》	聚焦高端芯片、集成电路装备和工艺技术、集成电路关键材料、集成电路设计工具、基础软件、工业软件、应用软件的关键核心技术研发，不断探索构建社会主义市场经济条件下关键核心技术攻关新型举国体制；在先进存储、先进计算、先进制造、高端封装测试、关键装备材料、新一代半导体技术等领域，结合行业特点推动各类创新平台建设

数据来源：发改委

同时，自2017年特种气体首次入选国家工信部《重点新材料首批次应用示范指导目录(2017年版)》后，截止2019年，全国已有20个特种气体产品入选，且这些入选项目均应用于集成电路和新型显示行业。因此，在国家政策推动下，我国特种气体行业国产化进程加速推进，产业将迎来广阔的发展机遇。

2017-2019年我国重点新材料目录特种气体入选数量统计情况

数据来源：工信部

2019年《重点新材料首批次应用示范指导目录(2019年版子)》-电特气入选目录明细

序号	产品名称	入选项目
1	高纯氟气	纯度399.99%，H20≤1.Oppn,C02≤2.Opprv,C0≤1.5ppmy,02≤1.Oppar,CH4≤0.1ppev
2	三氯氢硅	纯度≥99.99%，CH3Cl＜10ppm，SiHCl2≤100ppm，SiCl4≤100ppm，Fe≤30ppb，Ni≤2ppb
3	锗烷	纯度≥99.999%，H2＜50ppmv，O2+Ar≤2ppmv，N2≤2ppmv，CO≤1ppmv，CO2≤1ppmv，CH4≤1ppmv，H2O≤3ppm
4	HCl、N2O	纯度≥99.999%；COS、B2H6纯度≥99.99%；AsH3、PH3、SiH4纯度≥99.9999%
5	二氯二氢硅	纯度≥99.99%，SiCl4≤50ppm，CHCl3≤100ppm；B≤10ppt，P≤10ppt
6	高纯三氯化硼	纯度≥99.999%，N2≦4ppmv，CO≦0.5ppmv，O2≦1ppmv，CH4≦1ppmv，H2O≦1ppmv，CO2≦2ppmv
7	六氯乙硅烷	纯度≥99.5%，SiCl4≤300ppm，六氯氧硅烷≤500ppm，CHCl3≤100ppm，Al≤10ppt，Ti≤10ppt
8	四氯化硅	纯度≥99.99%，CHCl3≤50ppm，CH2Cl2≤100ppm；Fe≤2ppt，Ni≤0.1ppm，B≤20ppt，P≤20ppt
9	超高纯氙气	纯度≥99.9995%；超高纯锗烷混氢（GeH4/H）；超高纯锗烷混氢（GeH4/H2）；超高纯乙硼烷混氢（B2H6/H2）；超高纯乙硼烷混氮气；超高纯磷烷混氢气（PH3/H2）

数据来源：工信部（WYD）

欲了解更多内容，请参阅我们的行业分析报告：
        《2021年中国特种气体市场调研报告-行业现状与未来商机预测》
        《2020年中国电子特种气体行业分析报告-行业运营态势与发展前景预测》

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